Розмір шрифту:
Мікроскопічні дослідження іонно-плазмового азотування поверхні сталі Ст.3 в геліконному розряді
Остання редакція: 2020-04-17
Тези доповіді
Для вирощування нанотрубок потрібно створювати дифузійні бар’єри. Аби створити такі бар’єри на сталі можна використати азотування.У недавніх роботах було доведено, що ефективним методом азотування є використання геліконного розряду. Використовуючи цей метод, ми здійснили азотування поверхні сталі Ст.3 і провели мікроскопічне дослідження шліфів на застосованих зразках. Використання геліконного розряду полягає в утворенні на поверхні тонкого шару нітридів з характерними властивостями фаз втілення, тобто інертності до хімічної взаємодії з металом-каталізатором високої термодинамічної стійкості високої температури плавлення.Завдяки великій щільності плазмового потоку геліконного розряду можна створити інтерфейс на невеликій відстані від поверхні, тобто забезпечити великий градієнт азоту з поверхні в підкладку та забезпечити необхідний рівень адгезії азотованого шару нітриду до поверхні підкладки. Велика щільність плазми також буде сприяти ефективному очищенню поверхні підкладки в процесі її розпилення струмом іонів, підвищуючи цим її активність, а відтак, адгезійну міцність. Розміри зразків, які піддавали азотуванню були такими: 10?20(L)?3(H) мм. Змінюючи такі умови азотування як напругу на підкладці (енергію іонів азоту), тиск газу (густину іонного струму), температуру підкладки, час, можна регулювати властивості та будову насиченого азотом шару, підбираючи в такий спосіб оптимальні параметри процесу.Дослідження фазового складу отриманих зразків було зроблено на шліфах на електронному сканувальному мікроскопі TescanMira 3 LMU та енергодисперсійному спектрометрі X-max 80 mm2 (Oxford Instruments). На рисунку, що подано нижче, наведено один з профілів розподілу азоту. Як бачимо, з’єднання заліза з азотом сконцентровано в поверхневому шарі товщиною 1 мікрон.
Таким чином, застосування геліконного методу дозволяє створювати ефективний тонкий захисний дифузійний бар’єр.
Таким чином, застосування геліконного методу дозволяє створювати ефективний тонкий захисний дифузійний бар’єр.
Ключові слова
азотування, геліконний розряд, дифузійний бар'єр
Full Text:
PDF